上海积塔半导体10万风量沸石转轮架＋0.6万TO

一、业主介绍

上海积塔半导体有限公司是一家集成电路芯片和产品制造的高科技公司。旗下主要产品包括功率器件、电源管理、传感器芯片，广泛应用于工控、汽车、电力、能源等领域。

 二、工艺流程

10万风量沸石转轮+0.6万风量直接焚烧炉（TO）

三、沸石转轮+直接焚烧炉设备的主要组成：

沸石转轮装置，引风机，直接焚烧炉装置，换热器，烟囱  5个部分组成

四、沸石转轮的工作原理:

浓缩转轮区分为处理区、再生区和冷却区，浓缩转轮在各个区内连续运转。

含有VOC的被处理空气通过前置过滤后，送到浓缩转轮的处理区。在处理区VOC被吸附剂吸附除去，空气被净化后从浓缩转轮的处理区间排出。

吸附于浓缩转轮中的VOC，在再生区经热风处理而被脱附、浓缩（5~20倍的程度）。

而且浓缩转轮在冷却区被冷却，经过冷却区的空气，再经过加热后作为再生空气使用，达到节能的效果。

五、直接焚烧炉（TO）的工作原理：

工作原理：焚烧炉依据风量，有机气体浓度和期望的处理效率进行设计。来自工艺的VOCs和有毒气体吸入系统风机后推进壳管式换热器的管侧（通常用此设计）。里面的气流通过燃烧机升温到热氧化反应温度（650-1,000℃/1,200-1,800℉），在0.5-2.0s内进行放热反应。废气在反应室内转化为二氧化碳和水汽并受到加热。高温的经过净化的气体通常通过壳管式换热器的壳侧预加热导入气体。换热器在系统维持在合适的低爆炸极限工作状态时最小化系统燃料的消耗量。最后处理后的气体排放到空气中去。工艺废气中有硅树脂的应用中可以在废气通过燃烧机后经换热器的管侧排除以方便维护和二氧化硅清理

六、项目照片